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澳门威尼斯人娱乐场-Venetian Macao Casino强茂电子申请晶圆的台面结构自动外检机专利提高对晶圆的检测效率

作者:小编2025-02-05 10:14:22

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  专利摘要显示,本发明公开了晶圆的台面结构自动外检机,涉及晶圆检测技术领域,包括检测台,所述检测台的顶端安装有三轴滑台,所述三轴滑台上安装有检测探头,所述检测台的顶端滑动连接有两个检测座,两个所述检测座之间固定连接有连接座,晶圆通过固定机构固定在所述检测座上,所述检测座通过切换机构进行移动。本发明通过设置固定机构和切换机构,当一个晶圆位于检测座上进行检测时,可将后一个晶圆固定在另一个检测座上,晶圆检测完成后,推动检测座和连接座进行移动,对另一个检测座上的晶圆进行检测,同时自动解除检测完的晶圆的固定,方便对晶圆进行更换,便于对晶圆进行检测,提高了对晶圆的检测效率。